金融界2024年12月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，华海清科（北京）科技有限公司请求一项名为“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备”的专利，公开号 CN 119170556 A，请求日期为2024年8月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备，该晶圆夹持组织包含：转盘；卡爪组件，其沿转盘的周向设置，以夹持待处理的晶圆；顶升件，其设置于转盘的下方，用于间歇顶升卡爪组件的顶杆，所述顶杆可以抵接于卡爪组件的导向轴，使得导向轴及其上的卡爪沿轴线旋转，以改动卡爪组件的作业状况。